Multiple star
Vaksis Multiple Star platformu birçok vakum kazanından oluşmaktadır. Bu platform doğrusal küme yapısına sahiptir ve farklı tekniklerin kombinasyonlarını içerir.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Kazan Sayısı 5'e kadar
- Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 400oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Soğutma Gerektiğinde
- Yükleme Yükleme odası ve transfer odası ile
- Kontrol Tam otomatik
- Ek Gaz Emniyeti İstenildiğinde sunulabilmektedir.
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
- Kapasitif Eşleşmiş Plazma Kaynağı (CCP) için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı ve İndüktif Eşleşmiş Plazma (ICP) Kaynağı için RF Güç Sağlayıcısı
