GünEr
Vaksis GünEr çoğunlukla Fotovoltaik ince film araştırma ve geliştirme çalışmaları için kullanılan ve birçok sayıda vakum odasından ve yükleme odasından oluşan bir platformdur. Bu platform dairesel küme yapısına sahiptir ve farklı tekniklerin kombinasyonlarını içerir.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Proses Odalarının Sayısı 8' e kadar
- Yükleme Odalarının Sayısı 1
- Robotik Transfer Odalarının Sayısı 1
- Alttaş Boyutu 30x30 cm
- Alttaş Isıtma Maks. 400oC
- Soğutma Gerektiğinde
- Yükleme Yükleme Odası ve Transfer Odası ile
- Kontrol Tam Otomatik
- Ek Gaz Emniyeti İstenildiğinde sunulabilmektedir.
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
- Kapasitif Eşleşmiş Plazma Kaynağı (CCP) için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı ve İndüktif Eşleşmiş Plazma (ICP) Kaynağı için RF Güç Sağlayıcısı
