Düşük bütçeli projeler için bir adet magnetron saçtırma kaynağına sahip manuel kontrollü özel tasarım saçtırma sistemi.

Maks. 25 mm çapındaki cam veya yonga gibi düz yüzeyler üzerine nano- ve mikro-metre boyutundaki ince filmlerin/kaplamaların kontrollü olarak büyütülmesi için tasarlanmış ve üretilmiştir.

  • Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
  • Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
  • Yüksek Basınç Pompası: 70 l/s turbomoleküler pompa
  • Mekanik Pompa 1 m3/sa yağsız mekanik pompa
  • Alttaş Boyutu 25 mm çapında
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm (opsiyonel)
  • Güç Kaynağı 1 DC 500 W (Opsiyonel: 1 RF 300 W)
  • Büyütme Yöntemi Saçtırma
  • Büyütme Yönü Aşağıya doğru
  • Kaynak Sayısı 1
  • Yükleme Yukarıdan
  • Kontrol: Manuel
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.

Diğer Magnetron Saçtırma