MiDAS
Vaksis MiDAS COATING SYSTEMS platformu prizmatik vakum kazanlarından oluşmaktadır ve farklı tekniklerin kombinasyonlarını içerebilir.
- En Düşün Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Soğutma Gerektiğinde
- Kaplama Yönü Yukarıya doğru
- Yükleme Odası Opsiyonel
- Kontrol Tam Otomatik
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
