PVD handy sm
PVD-handy sm serisi Vaksis PVD-handy platformunun bir üyesi olup, düşük bütçeli projeler için tasarlanmakta ve üretilmektedir. Bu seri, handy kelimesinin sözlük anlamı gibi kolay ve rahat kullanılabilir.
- En Düşük Basınç ≈ 2x10-6 Torr
- Alttaş Boyutu Maks. 3” çapında
- Kalınlık Ölçümü Büyütme sırasında kuvars kristal ile ölçüm
- Sıcaklık Kontrol Sistemi PID yöntemiyle
- Güç Kaynakları Sayısı 1
- Kaynak Sayısı Maks. 2
- Yükleme Kaldırma mekanizması ile yükselmiş bell jar' dan
- Kontrol Yarı otomatik
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
