MiDAS PVD MT 2M3T1ICP
Çok Teknikli İnce Film Kaplama Sistemi:
Sistem, saçtırma ve termal buharlaştırma tekniği kullanarak tek bir alttaş üzerine maksimum beş farklı malzemeyi buharlaştırabilir.
- Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru
- Kaynak Sayısı 6
- Rezistif Termal Buharlaştırma Kaynağı 3 adet
- Magnetron Saçtırma Kaynağı 2 adet
- Indüktif Eşleşmiş Plazma Kaynağı 1 adet
- Güç Kaynaklarının Sayısı 3
- Yükleme Ön kapıdan
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
