MiDAS PVD 1eB & PVD MT/1M3T
Sistem iki farklı kazan ve bunlara ait ortak bir pompalama istasyonundan oluşmaktadır. Bir kazanda e-beam, diğer kazanda ise magnetron saçtırma ile termal buharlaştırma teknikleri kullanılmaktadır. Her kazanda aynı yüklemede aynı alttaş üzerine dört farklı malzemeyi büyütmek için kullanılabilir.
- En Düşün Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Kazan Sayısı 2
- Alttaş Boyutu 4” çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Soğutma Gerektiğinde
- Kaplama Yönü Yukarıya doğru
- Rezistif Termal Buharlaştırma Kaynağı 3
- Magnetron Saçtırma Kaynağı 1
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı 1
- Güç Kaynaklarının Sayısı 3
- Yükleme Odası Opsiyonel
- Kontrol Tam Otomatik
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
