CVD handy twin tube
Indüktif Eşleşmiş Plazma (ICP) ve Metalo-organik/Düşük Basınç Kimyasal Buhar Biriktirme (MO/LP CVD) tekniklerini içeren kombine sistem.
- En düşük basınç < 2x10-7 Torr
- Sızdırmazlık Düzeyi 10-8 Torr.l/s
- Proses Basınç Aralığı 0.1 - 10 Torr
- Tüp Fırın Yatay tasarım
- Maks. Sıcaklık 1100oC
- Sürekli Çalışma Sıcaklığı 1050oC
- Isıtma Alanı Uzunluğu 250 mm
- Sıcaklık Kontrol Sistemi PID yöntemi
- Kuartz Tüp Çapı 70 mm
- MFC Sayısı 3
- Buharlaştırma Bubler Sayısı 3
- Pompalar 1 adet turbololeküler pompa, 2 adet mekanik pompa
- Güç Kaynağı 1 RF (300 W)
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
