Sistem, numuneleri çeşitli doğrusal ve çok yüksek ısıtma hızlarında, vakum altında ve düşük basınç kontrollü atmosferde ısıtmak için tasarlanmış ve üretilmiştir. Sistemde ulaşılabilir maksimum sıcaklık 1000 oC'dir. Lineer ısıtma oranı aralığı ise 0.5 - 30 oC/s 'dir.

  • En düşük Basınç < 2x10-7 Torr
  • Sızdırmazlık Oranı 10-8 Torr.l/s
  • <10E-5 Torr değerine ulaşması için geçen zaman 10 min.
  • Lineer Isıtma Oranı Aralığı 0.5 - 30 oC
  • Maks. Sıcaklık 1000oC
  • Sıcaklık Ölçümü Thermocouple
  • MFC Sayısı 2
  • Maks. MFC Sayısı 4
  • İşlem Basınç Aralığı 5x10-3 - 5x10-1 Torr
  • Isıtma Basınç Aralığı 5x10-1 Torr to Base pressure
  • Control Full Automation by PC
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.