RIE handy
Reaktif İyon Dağlama yöntemi ile ince film kaplama sistemi.
- En Düşük Basınç < 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu 6" çapında
- Alttaş Soğutma Max. 50 oC
- Büyütme Yöntemi Kapasitif Eşleşmiş PE-CVD
- Güç Kaynağı RF, 13.56 MHz
- Yükleme Yukarıdan
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
