ANGORA PVD 4M
Sistem, kutu tipi vakum kazanlarından oluşmaktadır ve dört farklı malzemenin tek alttaş üzerine kaplanmasında kullanılabilmektedir.
- En Düşük Basınç < 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu: 4" çapında
- Alttaş Beslemesi: RF veya DC
- Alttaş Isıtma: 500oC
- Alttaş Soğutma: Su soğutmalı
- Alttaş Döndürme: 1-30 rpm
- Büyütme Yöntemi: Saçtırma
- Büyütme Yönü: Yukarıya doğru
- Kaynak Sayısı: 2"lik 4 adet magnetron
- Gaz Akışı: Ar gazı için 1 MFC diğer gazlar için MFCler opsiyoneldir
- Kalınlık Ölçüm: Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Güç Kaynakları: 1 adet darbeli RF ve 1 adet darbeli DC
- Yükleme: Yukarıdan
- Kontrol: Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
