PVD handy 3M
Üç adet magnetron saçtırma kaynağı içeren vakum kaplama sistemi.
- Temel Basınç Düzeyi: < 5x10-8 Torr
- Alttaş Boyutu: 4" çapında
- Alttaş Isıtma: 350 oC
- Alttaş Döndürme: 3 - 30 rpm
- Buharlaştırma Yöntemi: Saçtırma
- Buharlaştırma Yönü: Yandan (tüm kaynaklar)
- Gaz Akışı: Ar gazı için 1 MFC, diğer MFCler opsiyoneldir.
- Kaynak Sayısı: 3 Magnetron
- Hedef Plaka Boyutu: 2"
- Kalınlık Ölçümü: Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Yükleme: Kenar kapılardan
- Kontrol: Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
