PVD handy 3T
Maksimum 4" çapındaki cam veya yonga gibi düz yüzeyler üzerinde kontrollü nano- ve mikro-metre kalınlığında ince filmlerin/kaplamaların büyütülmesi için tasarlanmış ve üretilmiştir. Üç adet termal buharlaştırma kaynağı içermektedir.
- Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 500 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Büyütme Yöntemi Rezistif Isıl Buharlaştırma
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru (tüm kaynaklar)
- Kaynak Sayısı 3
- Yükleme Yukarıdan
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
