MiDASm
MiDASm serisi, MiDAS COATING SYSTEMS platformunun en küçük üyesidir. Bu seri prizmatik vakum kazanlarından oluşmaktadır ve farklı teknik kombinasyonlarını içerebilir.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu Maks. 4” çapında
- Alttaş Isıtma maks. 800oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Soğutma Gerektiğinde
- Kaplama Yönü Yukarıya doğru
- Kalınlık Ölçümü Büyütme sırasında kuvars kristal ile ölçüm
- Kontrol Tam otomatik
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
