MiDASm PVD MT 2M2T
Çok Teknikli İnce Film Kaplama Sistemi:
Sistem tek bir alttaş üzerine saçtırma ve termal buharlaştırma tekniklerini kullanarak maksimum dört farklı malzeme biriktirmek için kullanılabilir.
- Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kaynak Sayısı 2 Rezistif Termal Buharlaştırma ve 2 Magnetron Saçtırma Kaynağı
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru
- Güç Kaynakları 1 DC (500 W) ve 1 RF (300 W)
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
