MiDAS in Glovebox
MiDAS Coating Systems platformunun Glovebox entegre edilmiş serisidir. Glovebox ile tamamen inert ortamda ince film kaplama çalışmalarının yapılabileceği bir araştırma ve geliştirme sistemidir.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Kazan Sayısı Eldivenli kabin başına 2'ye kadar
- Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
- Alttaş Isıtma maks. 800oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Soğutma Gerektiğinde
- Kaplama Yönü Yukarıya doğru
- Yükleme Odası Opsiyonel
- Eldiveli Kabin Safsızlığı <1 ppm oksijen (O2) ve su buharı (H2O)
- Kontrol Tam otomatik
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
