MiDAS PVD 5F
Cu, In, Ga, Se, Cd gibi metallerin buharlaştırılması için beş adet fırın-tipi efüzyon hücresi içerir. Sistem aynı yüklemede beş farklı malzemenin çok-katmanlı veya eş-zamanlı olarak buharlaştırılmasına imkan vermektedir.
- Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 5" çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kaynak Sayısı 5 adet fırın tipi efüzyon hücresi
- Kalınlık Ölçüm Sensör Sayısı: Maks. 5
- Güç Kaynaklarının Sayısı 5
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
