MiDAS PVD 3T
Sistem termal buharlaştırma yöntemiyle tek bir alttaş üzerine maksimum üç farklı malzeme büyütmek için kullanılabilir.
Aynı zamanda, aynı alttaş üzerine üç farklı malzemenin eş zamanlı buharlaştırılmasına imkan vermektedir.
- Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Büyütme Yöntemi Rezistif Isıl Buharlaştırma
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru (tüm kaynaklar)
- Kaynak Sayısı 3
- Güç Kaynaklarının Sayısı 3
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
