Bor-N Seramik Kaplama Sistemi
Sistem maksimum dört adet magnetron saçtırma kaynağı içerir. Bor nitrür katmanların değişik alttaşlarda büyütülmesi için tasarlanmış ve üretilmiştir.
- En Düşük Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu Maks. 3"
- Alttaş ısıtma 500 oC
- Alttaş Döndürme 1-30 rpm
- Alttaş Besleme RF veya DC
- Gaz Akışı Gazlar için MFC
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderebilirsiniz.
