MiDAS PVD 1eB
Sistem tek bir alttaş üzerine maksimum dört farklı malzemeyi elektron demeti yöntemiyle biriktirmek için kullanılır.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu 4” çapında
- Alttaş Isıtma maksimum 650oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Büyütme Yönü Upward
- Kaynak Sayısı 4 potalı 1 adet elektron demeti kaynağı
- Pota Boyutu Her biri 8 cc
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal sensör ile anlık ölçüm
- Kontrol Tam otomatik
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
